表面波等离子体源的发展现状

摘要：

对微波放电产生的平板型表面波等离予体源进行了系统介绍,分析了表面波等离子体的工作原理,探讨了维持表面波等离子体放电的能量吸收机制,介绍了由单模谐振腔阵列、亚波长衍射光栅及开槽天线阵列组成的新型波模转换器.表面波等离子体的产生机理、实现途径、参数特性和数值仿真等方面的研究进展及其所取得的成果,有利于促进新型表面波等离子体源走向产业化应用,并促使微电子产业的功效取得新的突破.

关键词：表面波、等离子体、表面等离激元、微波放电

所属期刊栏目：61

分类号：O484.5(固体物理学)

在线出版日期：2012-09-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：287-293