1000线／毫米软X射线自支撑闪耀透射光栅的设计与制作

摘要：

基于标量衍射理论讨论了软x射线自支撑闪耀透射光栅的特性并设计了光栅的结构参数．采用全息光刻和湿法腐蚀技术，成功制作了周期1μm、占空比0．1—0．2、高宽比约100、栅线厚度10μm、有效面积比为65％的自支撑闪耀透射光栅．单元尺寸为15minx15mm的硅绝缘体上含有四个5mmX5mm的自支撑闪耀透射光栅窗口．在国家同步辐射实验室检测了该光栅在5—50nm波长范围内的衍射效率．波长扫描测量结果表明，闪耀效应明显地发生在类似镜面的光栅侧壁镜面反射方向上，闪耀级次位置及其特征与标量理论预测的一致．衍射效率的实测结果基本与理论模拟符合，只是因光栅结构上的缺陷致使衍射效率偏低，峰值只有理论值的38％-49％．实验结果证明了闪耀透射光栅的概念和湿法制作工艺的可行性．

关键词：自支撑透射光栅、闪耀效应、全息光刻、各向异性腐蚀

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分类号：TS251.7(食品工业)

资助基金：国家高技术研究发展计划2009AAl292;国家自然科学基金10875128,11005111资助的课题

在线出版日期：2012-08-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：148-154