制备多模聚硅氧烷光波导关键技术的改进

摘要：

本文利用浇铸法,使用M＆N胶和OE6450两种聚硅氧烷制备光波导.通过改进制备光波导的多个关键技术,解决了波导制备过程中的气泡问题、脱模问题、芯层不固化问题、芯层和覆盖层产生化学反应等难题,提出了比较完备和科学的聚硅氧烷波导制备工艺流程,从而使得波导的制备成品率从原来低于40%提高到高于80%,波导的最大长度从原来的21 cm增加到22.5 cm,波导的损耗（截断法测量结果）从最初的0.3dB/cm（850 nm）降低到了0.21dB/cm（850nm）.本文在波导制备技术方面具有重要的实际意义和价值.

关键词：光学设计、多模脊形波导、聚硅氧烷、浇铸法

所属期刊栏目：61

分类号：O634.41(高分子化学（高聚物）)

资助基金：国家高技术研究发展计划2007AA0122a5资助的课题

在线出版日期：2012-09-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：207-212