磁性量子元胞自动机功能阵列的实验研究

摘要：

采用电子束光刻、热蒸镀和剥离工艺在室温下制备了多组磁性量子元胞自动机器件功能阵列.实验研究了曝光剂量和曝光时间对三个不同间距参数磁性量子元胞自动机阵列图案的影响,发现100 pA电子束束流和0.38μs曝光时间可获得理想的阵列图案.对制备的反相器阵列结构进行了磁力显微测试,结果显示了正确的逻辑功能,成功实现了不同间距参数功能阵列的实验制备.此外.实验还发现纳磁体阵列制备中容易出现缺陷,模拟结果表明丢失纳磁体缺陷导致了信号传递反相.

关键词：纳磁体、电子束光刻、磁力显微图、间距

所属期刊栏目：61

分类号：TN791(基本电子电路)

资助基金：国家自然科学基金61172043;陕西省自然科学基础研究计划重点项目2011JZ015;空军工程大学研究生科技创新计划项目资助的课题

在线出版日期：2012-05-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：436-441