分子束外延生长[111]晶向CdTe的研究

摘要：

本文采用分子束外延（MBE）方法在BaF_2衬底上直接外延生长了CdTe（111）薄膜.反射高能电子衍射（RHEED）实时监控生长表面,衍射图样揭示了CdTe（111）在BaF_2表面由二维生长向三维生长的变化过程.XRD表征验证了外延生长的CdTe薄膜的单晶性质.由红外透射光谱测量和理论拟合相结合,得到了CdTe外延薄膜室温带隙宽度E_g=1.511 eV.

关键词：CdTe、分子束外延(MBE)、RHEED、XRD

所属期刊栏目：61

分类号：TN304.26(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金10974174和91021020;浙江省自然科学基金Z6100117;Z111057

在线出版日期：2012-05-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：356-360