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磁控直流辉光等离子体放电特性

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本文利用单探针诊断等离子体参数来研究自行设计的磁控直流辉光等离子体实验装置的放电特性,从而得出电子密度与气体压强、电子密度分布与磁场位型以及磁场强度等的关系.另外,用有限元的方法对线圈通电产生的磁场进行数值计算,模拟出不同接线方式的两种磁场位型分布.通过实验得出这两种不同的位型的磁场均对等离子体的状态有一定的"控制"作用,而且这种"控制"作用与现有理论相符合.

磁场约束、直流辉光、等离子体特性

61

O53-4(等离子体物理学)

国家重点基础研究发展计划2008CB717800

2012-05-19(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

267-273

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1000-3290

11-1958/O4

61

2012,61(4)

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