多普勒振镜正弦调制多光束激光外差测量玻璃厚度的方法

摘要：

本文提出了一种多普勒振镜正弦调制多光束激光外差测量玻璃厚度的新方法.基于激光外差技术和多普勒效应,通过做简谐振动的多普勒振镜对不同时刻入射光的频率进行正弦调制,把待测厚度信息加载到外差信号的频率差中,通过快速傅里叶变换对外差信号解调后可以同时得到多个待测玻璃厚度值,经加权平均处理可以提高待测厚度的测量精度.利用这种新方法,通过MATLAB仿真测量了不同玻璃厚度值,结果表明：该测量结果的最大相对误差小于0.008%.

关键词：多光束激光外差、多普勒效应、傅里叶分析、非接触式测量

所属期刊栏目：61

分类号：TN248.1(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金61078063;哈尔滨工业大学重大国际科技合作培育计划HIT.ICRST2010024

在线出版日期：2012-05-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：238-243