晶粒尺寸及衬底应力对铁电薄膜特性的影响

摘要：

考虑衬底应力、畴壁运动和畴结构变化，建立了修正的Landau．Devonshire热力学模型，计算了生长在不同衬底上的含有纳米晶粒的PbZr0.4Ti0.6，（PZT）薄膜的电滞回线，研究了矫顽场、剩余极化强度和相对介电常数对晶粒尺寸以及薄膜厚度的依赖关系．结果表明，矫顽场和相对介电常数对晶粒尺寸的依赖关系呈类抛物线状；衬底压应力使矫顽场和剩余极化强度增大，使相对介电常数减小；随着厚度增加，矫顽场先缓慢增加，到200nm急剧增加，到310nm再缓慢增加，这一结果主要取决于介电常数对厚度的依赖．

关键词：铁电体、晶粒尺寸、衬底应力、薄膜厚度

所属期刊栏目：60

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2012-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：729-734