高调谐BST薄膜制备及介电性能研究
用改进的溶胶凝胶（sol-gel）法逐层制备钛酸锶钡（Ba0.6Sr0.4TiO3，BST）薄膜，研究中间热处理（preheating，PT）对薄膜结构及介电性能的影响．X射线衍射（XRD）表明，BST薄膜主要沿（110）方向生长，对应立方钙钛矿结构，PT使晶化增强．X射线光电子能谱（XPS）表明，PT促使表面非钙钛矿结构向钙钛矿结构转变．原子力显微镜（AFM）和介电性能测试表明，随着PT频次的增加，薄膜形貌改善，表面粗糙度降低，介电调谐率大幅度提高，其中，在20V偏压下逐层PT的薄膜对应超过55％的调谐率．对奇数层进行PT的薄膜对应适中的电容、较小的介电损耗及在20V偏压下接近50％的调谐率，显著提高了综合介电性能，能很好满足微波调谐器件的要求．同时，就有关PT高调谐机理进行了讨论．
中间热处理、高调谐、溶胶凝胶法、钛酸锶钡
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O484.1(固体物理学)
电子科技大学中青年学术带头人培养计划Y02018023601053;中央高校基本科研业务费专项资金ZYGX2009X018
2012-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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