[110]／（001）单轴应变Si本征载流子浓度模型

摘要：

本文首先讨论了在沿[110]方向的单轴应力对体si材料能带结构参数的影响，在此基础上计算出单轴应变si中平衡载流子浓度，给出了物理意义明确的导带、价带有效态密度的表达式．最后，结合有效态密度和禁带宽度的表达式，建立了[110]／（001）单轴应变si本征载流子浓度模型．本文的研究方法亦适用于建立（001）面任意应力方向上的应变si本征载流子浓度模型，并为相关单轴应变si器件的设计、建模以及仿真提供了一定的理论参考．

关键词：[110]/(001)单轴应变si、有效态密度、本征载流子浓度

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分类号：O346.2(固体力学)

资助基金：国家部委资助项目51308040203;6139801;中央高校基本科研业务费72105499;72104089;陕西省自然科学基础研究计划2010JQ8008

在线出版日期：2012-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：567-572