真空热退火温度对单相Ag2O薄膜微结构和光学性质的影响

摘要：

利用直流磁控反应溅射技术在玻璃衬底上沉积了单相Ag2O薄膜,并采用真空热退火对单相Ag2O薄膜在不同热退火温度(TA)下进行了1 h热处理.利用X射线衍射谱、扫描电子显微镜和分光光度计研究了TA对单相Ag2O 薄膜微结构和光学性质的影响.研究结果表明,TA=300℃时Ag2O薄膜中开始出现Ag纳米颗粒,且随着TA的升高薄膜中Ag的含量明显增加.特别是当TA=475℃时Ag2O相完全转化为AG.随着TA的升高,薄膜的表面形貌发生了由致密到疏松的结构演变.薄膜微结构的变化显示在真空热退火过程中伴随着Ag2O相热分解为Ag和O原子及O原子在体内的扩散和从表面的逃逸过程.薄膜的透射率、反射率和吸收率随TA的变化归结于热退火过程中Ag2O的热分解和薄膜结构的演变.

关键词：Ag2O薄膜、热退火温度、微结构、光学性质

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分类号：O484.41(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金60807001;国家重点基础研究发展计划973项目2011CB201605;河南省教育厅自然科学研究计划项目2010A140017

在线出版日期：2011-08-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：442-447