具有宽调谐范围的微纳光机电系统可调谐垂直腔面发射激光器研究
基于微纳机械技术设计得到了可调谐垂直腔面发射激光器结构,将具有Al0.8Ga0.2As牺牲层结构的DBR反射镜制备成微纳光机电系统,并与多量子阱有源区光纵向耦合结构相结合.其中,微纳光机电DBR结构不再是简单的分布布拉格反射镜,而是对光波具有高调制作用的可动微纳机械反射镜系统,并在静电力作用下可以动态调谐VCSEL谐振腔的激射波长.实验结果显示,当激光器调谐电压从0 V增加到7 V时,对应激射波长将从968.8 nm蓝移到950 nm,整个调谐范围达到了18.8 nm,可调谐VCSEL器件表现出了优异的激光特性,并实现了波长连续可调.
垂直腔面发射激光器、微纳光机械、波长可调谐
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TN248(光电子技术、激光技术)
国家重点基础研究发展计划2006CB604902;国家自然科学基金60908012
2011-08-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
262-265
