低工作电压聚噻吩薄膜晶体管

摘要：

以高掺杂Si单晶片作为衬底凡充当栅电极,采用磁控溅射法在硅片上沉积HfTiO薄膜作为栅介质层,聚三己基噻吩(P3HT)薄膜作为半导体活性层,金属Au作为源、漏电极,并采用十八烷基三氯硅烷(OTS)对栅介质层表面修饰,在空气环境下成功地制备出聚合物薄膜晶体管(PTFT).PTFT器件测试结果表明,该晶体管在低的驱动电压(<-1 V)下仍呈现出良好的饱和行为,其阈值电压和有效场效应迁移率分别为0.4 V和2.2×10-2cm2/V·s.通过对金属-聚合物-氧化物层-硅半导体(MPOS)结构电容器的电容-电压(C-V)特性测试发现,MPOS电容器的电容呈现出明显的频率依赖性和C-V迟滞现象,对其产生的物理机理进行了讨论.

关键词：聚合物薄膜晶体管、聚三己基噻吩、场效应迁移率、高k栅介质

所属期刊栏目：59

分类号：TN3(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金845106410100257;广东省自然科学基金8451064101000257

在线出版日期：2011-03-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：8088-8092