Nd:YAG纳秒激光诱导硅表面微结构的演化

摘要：

利用Nd:YAG纳秒激光(波长为532和355 nm)对单晶硅在真空中进行了累积脉冲辐照,研究了表面微结构的演化情况.在激光辐照的初始阶段,532和355 nm激光脉冲均在硅表面诱导出了波纹结构,后者辐照硅表面后形成了近似同心但稍显混乱的环形波纹结构.随着脉冲数的增加,波纹结构逐渐演化为一种类似珠形的凹凸结构,最后形成准规则排列的微米量级锥形结构,该微结构的生长依赖于表面张力波和结构自组织.分析发现,形成的交叉环形结构主要是在355 nm激光辐照硅的过程中,表面张力波导致波纹结构部分叠加的结果.

关键词：纳秒激光诱导、硅、表面微结构、演化

所属期刊栏目：59

分类号：O4(物理学)

资助基金：四川省教育厅青年基金08ZB006;西南科技大学博士研究基金06ZX7113

在线出版日期：2010-12-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：7015-7019