类金刚石薄膜力学特性的分子动力学模拟

摘要：

基于Brenner-的REBO势函数,利用分子动力学方法模拟了含氢量不同的类金刚石薄膜的纳米压痕过程,依据得到的加载卸载曲线,计算了薄膜的刚度、硬度以及弹性模量.结果表明:类金刚石薄膜的硬度由氢含量和sp3键含量两个因素共同决定;当薄膜中氢含量小于39%时,薄膜硬度主要取决于sp3键含量,sp3键越多,硬度越高;当薄膜中氢含量达到52%,薄膜硬度则显著下降,此时氢的作用占据主导地位.

关键词：类金刚石薄膜、分子动力学模拟、纳米压痕、硬度

所属期刊栏目：59

分类号：O4(物理学)

资助基金：国家自然科学基金50705093;50575217;国家自然科学基金创新研究群体基金50421502;国家重点基础研究发展计划2007 CB607601

在线出版日期：2010-09-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：5687-5691