蓝宝石基片上制备大面积Tl2Ba2CaCu2O8超导薄膜

摘要：

在2英寸双面蓝宝石基片上采用CeO2作为缓冲层制备了高质量Tl2Ba2CaCu2O8(Tl-2212)超导薄膜.以金属柿作为溅射靶材,采用射频磁控反应溅射法生长了c轴织构的CeO2缓冲薄膜,并研究了不同生长条件对于CeO2缓冲层的晶体结构及表面形貌的影响.超导薄膜采用直流磁控溅射和后热处理的方法制备.扫描电子显微镜(SEM )图像显示,超导薄膜具有致密的晶体结构和均匀平坦的表面形貌.

关键词：Tl-2212超导薄膜、CeO2缓冲层、蓝宝石基片

所属期刊栏目：59

分类号：O4(物理学)

资助基金：国家重点基础研究发展计划项目2006CB601006;国家高技术研究发展计划项目2009AA03Z208

在线出版日期：2010-11-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：5035-5043