低速高电荷态重离子辐照的GaN晶体表面X射线光电子能谱研究

摘要：

利用低速高电荷态Xeq+和Pbq+离子对在蓝宝石衬底上生长的GaN晶体膜样品进行辐照,并利用X射线光电子能谱(XPS)对样品表面化学组成和元素化合态进行了分析.

关键词：GaN晶体、高电荷态重离子、X射线光电子能谱

所属期刊栏目：59

分类号：O4(物理学)

资助基金：国家自然科学基金10575124

在线出版日期：2010-11-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：4584-4590