单行载流子光电探测器中空间电荷屏蔽效应理论分析和实验研究

摘要：

本文优化设计和外延生长了一种单行载流子(UTC)光电探测器有源区结构,并且采用微电子工艺制备了台面尺寸为30μm的UTC光电探测器.同时,采用了漂移一扩散模型对该有源区结构进行了理论模拟,从载流子浓度和空间电场角度重点分析研究了空间电荷屏蔽效应对UTC光电探测器直流饱和特性影响的物理机理.

关键词：单行载流子、光电探测器、空间电荷屏蔽效应

所属期刊栏目：59

分类号：O4(物理学)

资助基金：国家重点基础研究发展计划项目2006CB302802;2007CB613404

在线出版日期：2010-11-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：4524-4529