椭圆型激光驻波场作用下Cr原子的汇聚特性研究

摘要：

利用近共振激光驻波场操纵中性原子实现纳米级条纹沉积技术是一种新型的研制纳米结构长度标准传递的方法.分析了Cr原子在椭圆型激光驻波场作用下的沉积特性,分别对不同椭圆激光驻波场功率下Cr原子的沉积条纹及不同y平面上沉积条纹特性进行了模拟和分析.同时针对椭圆激光驻波场作用下Cr原子发散角对沉积条纹特性的影响进行了模拟计算.比较了不同发散角条件下沉积条纹的对比度和半高宽.

关键词：原子光刻、椭圆激光驻波场、Cr原子

所属期刊栏目：58

分类号：O56(分子物理学、原子物理学)

资助基金：广西壮族自治区教育厅科学研究基金200807Ms006

在线出版日期：2010-03-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：8199-8204