Zn1-xMgxO薄膜的光致发光特性研究

摘要：

采用脉冲激光沉积方法在单晶Si(100)衬底上制备出c轴取向的Zn1-xMgxO单晶薄膜,通过荧光光谱仪研究了薄膜的光致发光特性.实验结果表明,Mg含量增加,Zn1-xMgxO单晶薄膜的紫外发光峰蓝移,发光峰强度减弱,缺陷发光强度增强.同时发现,由于Mg的掺杂,引入了一些束缚能较大的局域束缚态.对于氧气氛下制备的样品,实验发现紫外峰和绿光带发光峰同时增强,但是R值减小,紫外峰红移.对绿光发光机理研究发现,绿光发光带主要与锌空位、氧间隙(Oi)或锌位氧(OZn)等缺陷有关,它是由多个缺陷发光峰组成,各缺陷发光峰强度相对变化导致了绿光发光带的整体移动.

关键词：Zn1-xMgxO薄膜、光致发光、脉冲激光沉积

所属期刊栏目：58

分类号：O4(物理学)

资助基金：安徽省自然科学基金090414177

在线出版日期：2009-10-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：5836-5841