10.3321/j.issn:1000-3290.2009.08.053
多光束激光外差高精度测量玻璃厚度的方法
利用基于激光外差测量技术和激光多普勒技术的非接触式多光束激光外差测量方法,得到了光电探测器输出电流的谐波表达式.讨论了该测量方法用于玻璃厚度超精密测量的可行性及理论依据,并利用Matlab软件对不同情况进行了仿真实验.结果表明:该方法在不同入射角时测量平板玻璃厚度最大的误差为0.3%,明显比其他测量方法精度高.
外差探测、多光束激光外差、激光多普勒技术、非接触式测量
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O371(流变学)
国家自然科学基金60577032
2009-10-12(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共6页
5473-5478