沉积条件对ZnTe/ZnTe:Cu薄膜结构及CdTe电池性能的影响

摘要：

用共蒸发法沉积了ZnTe/ZnTe:Cu复合多晶薄膜,通过XRD,XPS,C-V,I-V等研究了沉积温度对薄膜结构、Cu浓度分布及电池性能的影响.结果表明,沉积温度对薄膜的结构影响不明显,薄膜呈立方相,经185 ℃退火后出现了六方相.对薄膜的剖析发现,Cu浓度分布呈现先上升到一极大值而后快速下降的趋势, 100 ℃沉积的ZnTe/ZnTe:Cu薄膜,ZnTe层起到了阻止Cu扩散作用,用这种薄膜制作的太阳电池XD较大,电容较小,二极管特性较好,具有较高的转换效率.

关键词：ZnTe多晶薄膜、沉积温度、薄膜结构、器件性能

所属期刊栏目：58

分类号：O4(物理学)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2003AA513010;教育部高等学校博士学科点专项科研基金20050610024;四川省应用基础研究项目2006J13-08

在线出版日期：2009-08-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：4920-4924