全场光学相干层析成像系统的研制

摘要：

研制了一套采用旋转1/2波片无色散移相器进行移相操作的全场光学相干层析成像系统.该移相器能在宽光谱范围内无色散地获得8倍于1/2波片旋转角的移相量,能快速、方便地为各种移相算法提供所需的移相量.移相量实测结果表明:系统获得了8倍旋转角的移相量,提出的移相器结构正确.采用Hariharan移相算法对反射镜样品进行的成像实验表明系统具有较高的移相精度.最后进行的实物样品成像实验,检验了系统的有效性.

关键词：全场光学相干层析成像、无色散移相器、旋转1/2波片

所属期刊栏目：58

分类号：O371(流变学)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2006AA02Z4E0;国家自然科学基金60878057;60378041;60478040;浙江省自然科学基金Z603003

在线出版日期：2009-05-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1773-1778