立方氮化硼薄膜的最新研究进展

摘要：

立方氮化硼(cBN)作为一种在自然界中并不存在的人造材料具有优异的理化特性. 在超硬刀具、高温电子器件和光学保护膜等领域有着广泛的应用前景,已经成为材料科学的研究热点之一. 但是气相生长高质量cBN薄膜仍然还有许多难点需要攻克. 在综述近几年cBN薄膜研究所取得的一些突破性进展后,结合研究现状提出今后可能的主要研究方向.

关键词：立方氮化硼薄膜、压缩应力、异质外延、掺杂

所属期刊栏目：58

分类号：O6(化学)

资助基金：国家自然科学基金50772096;浙江省自然科学基金Y405051;浙江省教育厅资助项目20061365;教育部留学回国人员科研启动经费项目[2007]24号

在线出版日期：2009-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1364-1370