离轴照明下依赖于入射角度的矢量霍普金斯公式

摘要：

应用矢量电磁场理论和波导模型推导出离轴照明下的矢量霍普金斯公式,与传统的标量霍普金斯公式不同之处在于引入了入射角及入射方位角.通过仿真实际投影光刻工艺下三维掩模的成像效果,分析了最佳入射角范围,讨论了离轴照明时入射角对最终成像质量的影响.

关键词：光学光刻、矢量霍普金斯公式、矢量电磁场理论、离轴照明

所属期刊栏目：57

分类号：O37(流变学)

资助基金：教育部跨世纪优秀人才培养计划NECT-04-0981

在线出版日期：2009-02-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：6946-6954