数值模拟探针诱导表面等离子体共振耦合纳米光刻

摘要：

采用有损耗介质和色散介质的二维时域有限差分方法,数值模拟了以光波长514.5 nm的p偏振基模高斯光束为入射光源,激发Kretschmann型表面等离子体共振,并通过探针的局域场增强效应实现纳米光刻的新方法--探针诱导表面等离子体共振耦合纳米光刻.分别就探针与记录层的间距以及探针针尖大小,模拟分析了不同情况下探针的局域场增强效应和记录层表面的相对电场强度振幅分布.结果表明,探针工作在接触模式时,探针的局域场增强效应最明显,记录层表面的相对电场强度振幅的对比度最大;当探针针尖距记录层5 nm时,针尖下方记录层表面的相对电场强度振幅大于光刻临界值的分布宽度与针尖尺寸相近.

关键词：纳米光刻、表面等离子体共振、时域有限差分方法

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分类号：O4(物理学)

资助基金：上海市科委资助项目06DJ14007;国家自然科学基金60490294;国家自然科学基金50502036;上海市"曙光计划"06SG30

在线出版日期：2009-01-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：6643-6648