甚高频等离子体增强化学气相沉积大面积平行板电极间真空电势差分布研究

摘要：

采用二维准平面电路模型研究了甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)大面积平行板电极间真空电势差分布.计算结果表明:随平行板电极尺寸增加和激发频率提高,电势驻波效应成为影响电极间电势差非均匀分布的重要因素.在尺寸为1.2 m×0.8 m的大面积平行板电极上应用40.68和60 MHz两种激发频率,通过功率馈入点数量和位置优化,计算获得非均匀性分别为±2.35%和±5.5%的真空电势差分布.这些数值计算结果为大面积平行板电极在VHF-PECVD中应用提供了重要的理论指导.

关键词：二维准平面电路模型、甚高频等离子体增强化学气相沉积、电势驻波效应

所属期刊栏目：57

分类号：TN3;O53

资助基金：国家重点基础研究发展规划2006CB202602.2006cB202603;国家自然科学基金60506003;科学技术部国际合作计划重点项目2006DFA62390;国家高技术研究发展计划2007AA05Z436资助的课题

在线出版日期：2008-09-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：5105-5110