柱面天线射频感性耦合等离子体放电模式特性的实验研究

摘要：

利用Z-scan、电流、电压探头,通过测量等离子体吸收功率、天线电流、电压、等离子体直流悬浮电位等多种参数,研究了匹配网络、人线耦合强度、导电地面积、气压等多种因素对E,H放电模式特性及模式转化行为的影响.基于Γ型阻抗匹配网络中串联电容对射频电源输出功率的影响,提出了E-H放电模式转化的正负反馈区概念.研究发现:在相同的其他放电条件下,处于正反馈区时等离子体放电易于产生跳变型模式转化,而且模式跳变的临界天线电流、回滞宽度、跳变临界功率、跳变功率差等参数均随阻抗匹配网络参数产生明显变化;在负反馈区内,模式转化过程趋于连续.山于阻抗匹配网络的影响,E-H模式的跳变电流并不是总大于H-E模式的跳变电流.在小同导电地面积、阻抗匹配网络、气压下,模式转化过程中等离子体直流悬浮电位的变化呈现多样性.

关键词：射频等离子体、感性耦合、容性耦合、模式转化

所属期刊栏目：57

分类号：TN8;TN2

资助基金：国家自然科学基金10673050资助的课题

在线出版日期：2008-09-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共12页

页码：4304-4315