可见光波段双层浮雕型导模共振滤波器设计与分析

摘要：

基于傅里叶模式理论分析了双层浮雕型导模共振光栅的共振效应,分别讨论了光栅的槽深、剩余厚度、周期以及填充系数对峰值反射率、带宽、旁带反射率的影响.数据计算表明,欠刻蚀情形的误差宽容度远远优于过刻蚀情形,两者在光栅槽深相对误差小于15%的范围内,都能保证共振峰的衍射效率高于99.5%,在相同的误差范围内,共振峰线宽的相对误差将分别达到7%和60%,因此厚度误差集中反映在对共振线宽的改变上.另外,光栅周期和填充系数的变化将明显改变共振峰中心波长和线宽.

关键词：导模共振、平面波导、窄带滤波

所属期刊栏目：57

分类号：O4 ;TN2

资助基金：国家自然科学基金10704079资助的课题

在线出版日期：2008-09-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：4195-4201