非平衡磁控溅射系统磁场的半解析法

摘要：

应用电磁场分析中的一种新方法--半解析法,对一种典型的非平衡磁控溅射系统进行了磁场分析. 结果表明,应用半解析法计算,求解变量少、方法简单,而且计算精度高,该方法相对于等效源法有严密的理论依据,标量位函数的表达式为级数解析式,有利于场强的计算,更有利于优化设计.

关键词：非平衡磁控溅射、半解析法、标量磁位、磁场强度

所属期刊栏目：57

分类号：O53(等离子体物理学)

在线出版日期：2008-05-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：996-1000