CoFe/TiZr多层膜材料界面结构与性能的极化中子反射研究

摘要：

利用极化中子反射技术较系统地研究了CoFe/TiZr复合多层膜材料界面结构,结果表明.1)从多层膜超镜传输特性角度考虑,等厚对层不如非等厚对层膜结构好.2)等厚对层的最佳退火温度约250℃,非等厚对层退火温度低于250℃影响不明显,等厚和非等厚对层经350 ℃退火后膜层变化严重.3)从布拉格峰位变化看,随着退火温度的升高,等厚对层膜的厚度先变小后变大;非等厚对层与之相反.

关键词：CoFe/TiZr多层膜、退火影响、膜层结构、极化中子反射

所属期刊栏目：57

分类号：O4(物理学)

资助基金：中国工程物理研究院基金20050212

在线出版日期：2008-05-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：364-370