10.3321/j.issn:1000-3290.2007.11.082
表面注入P-top区double RESURF功率器件表面电场模型
提出表面注入P-top区double RESURF功率器件表面电场和击穿电压解析模型. 基于分区求解二维Poisson方程,获得double RESURF表面电场的解析式. 借助此模型,研究了器件结构参数对表面电场和电势的影响; 计算了漂移区长度和厚度与击穿电压的关系,给出了获得最大击穿电压和最小导通电阻的途径. 数值结果,解析结果和试验结果符合较好.
表面注入、double RESURF、表面电场、击穿电压
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O57(原子核物理学、高能物理学)
2008-01-14(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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