一氧化碳合成金刚石薄膜的形貌和结构分析

摘要：

利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术,采用偏压增加成核(BEN)、两步生长的方法在一氧化碳(CO)和氢气(H2)的环境下制备了金刚石薄膜. 利用扫描电子显微镜(SEM)、Raman光谱仪和透射电子显微镜(TEM)对金刚石薄膜的形貌和结构进行了分析. 研究发现金刚石晶粒在第一步成核及生长的过程中产生了层错和孪晶,而在第二步的生长过程中产生的层错和孪晶很少,最终形成的金刚石晶粒外表面比较光滑,包含有近五次对称或者平行的片状的孪晶,并可以观察到少量的位错. 而在样品的边缘由于等离子体的不均匀产生了比样品中心成核密度低的区域. 在这个区域中,发现了一个新的非金刚石的碳结构.

关键词：金刚石薄膜、Raman光谱、透射电子显微镜、结构

所属期刊栏目：56

分类号：O6(化学)

资助基金：中-法合作项目MX01-02;法国国际科学合作项目

在线出版日期：2008-01-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：6572-6579