γ-LiAlO2上非极性ZnO薄膜制备及其光谱性质研究

摘要：

利用激光脉冲沉积(PLD)技术在(302)γ-LiAlO2衬底上成功生长了非极性的α面(11(2)0)ZnO薄膜.衬底温度为350℃时,薄膜是混合取向(α向和c向),以c面ZnO为主,且晶粒尺寸分布很宽;提高温度达500℃,薄膜变为单一的(11(2)0)取向,摇摆曲线半高宽0.65°,晶粒尺寸分布趋窄,利用偏振透射谱可以明显看出其面内的各向异性.衬底温度650℃下制备的样品晶粒继续长大,虽然摇摆曲线半高宽变大,但光致发光谱(PL)带边发射峰半高宽仅为105meV,比在350℃,500℃下制备的样品小1/5.

关键词：非极性ZnO、γ-LiAlO2、PLD、透射谱

所属期刊栏目：56

分类号：O6(化学)

资助基金：国家自然科学基金60676004;上海市浦江计划05PJ14100;中国科学院"百人计划"

在线出版日期：2007-08-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：4044-4048