硼/氮原子共掺入金刚石的晶格损伤及其退火过程的计算机模拟

摘要：

借助于Tersoff势函数和分子动力学模拟技术研究了室温下500 eV的能量粒子硼(4个)和氮(8个)共掺入金刚石晶体中所引起的损伤区域内晶体微细观结构的变化特征以及后续加热退火晶体结构的演变特征.结果表明:随着掺入原子数目的增加,受影响的区域范围渐渐增大,12个粒子全部注入金刚石晶体后局部影响区域的半径达O.68nm,损伤区域中心的三配位原子数增加而四配位数原子数量减少.加热退火过程中损伤中心区域的原子发生扩散,部分原子的扩散距离达到4个晶格间距.加热退火使损伤区域中心原子间的平均键长趋于金刚石结构的键长.退火后薄膜中注入的杂质原子向表面扩散引起应力分布产生变化,杂质原子经过一系列的扩散过程能够到达空位的位置,减少薄膜中空位数量,减小晶格畸变程度,原子向表面扩散引起应力产生重新分布,薄膜中应力峰值的峰位向薄膜表面发生移动,局部应力集中程度降低.通过不同退火温度的比较发现低温下退火(800℃)更有利于空位的运动和晶格损伤的恢复从而提高晶格质量.

关键词：金刚石共掺杂、分子动力学、退火

所属期刊栏目：56

分类号：O46(真空电子学（电子物理学）)

资助基金：上海市教委资助项目06ZZ96;上海市学科科研项目

在线出版日期：2007-07-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：3360-3365