电子回旋共振放电的电离特性PIC/MCC模拟(Ⅰ)——物理模型与理论方法

摘要：

采用粒子模拟与蒙特卡罗相结合(PIC/MCC)的方法对电子回旋共振(ECR)放电中的电离过程进行了模拟,其中带电粒子与微波的相互作用由PIC方法的电磁模型描述,粒子间的碰撞过程由MCC方法描述.考虑的碰撞类型有电子与中性粒子的弹性、激发、电离碰撞,离子与中性粒子的弹性、电荷交换碰撞,碰撞截面均依赖于能量而变化.阐述了理论分析的过程,为数值模拟ECR放电奠定了基础.

关键词：电子回旋共振放电、粒子模拟、蒙特卡罗、电离

所属期刊栏目：55

分类号：O53(等离子体物理学)

在线出版日期：2006-11-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：5930-5934