10.3321/j.issn:1000-3290.2006.11.049
一种新型微空阴极结构的大气压射频冷等离子体源
介绍微空阴极的结构和物理机理,着重介绍一种新型大气压下射频激励的大面积冷等离子体源--融合空心阴极(fused hollow cathodes,FHC).结合应用和与之有关的研究,简单介绍空心阴极的放电特性,以及影响其放电特性的因素,如阴极材料、气体种类、频率、气体流速、气压、阴极内径等.另外提到了其他两种相关的微空阴极系统.
微空阴极、大气压、冷等离子体、射频
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O53(等离子体物理学)
2006-11-30(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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