SiO2脊形条波导热极化引起的电光效应

摘要：

通过理论模拟对具有上覆盖层的SiO2脊形条波导结构进行了优化,在此基础上利用微电子工艺制作了SiO2脊形波导Mach-Zehnder 型电光调制器,并进行热极化引起的电光和非线性效应的研究.热极化过程大幅增强了样品的电光及非线性效应,二次电光系数由热极化前的1.56×10-22(m/V)2提高到热极化后的8.50×10-22(m/V)2,极化后得到了0.093pm/V的线性电光系数,对热极化的物理机理进行了理论分析.

关键词：电光调制器、SiO2光波导、电光效应、热极化

所属期刊栏目：55

分类号：O37(流变学)

资助基金：国家自然科学基金60377022;60408001;教育部留学回国人员科研启动基金

在线出版日期：2006-11-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：5283-5287