斜角入射沉积法制备渐变折射率薄膜的折射率分析

摘要：

斜角入射沉积法是一种制备薄膜的新颖方法,它可以用来制备渐变折射率薄膜.本文首先探讨了膜料的沉积入射角为α,薄膜柱状生长倾斜角为β时的薄膜的填充系数;之后利用drude理论,分析研究了斜角入射沉积法制备渐变折射率薄膜的折射率与薄膜的入射角和生长方向的关系.

关键词：斜角入射沉积、渐变折射率、填充系数

所属期刊栏目：55

分类号：O57(原子核物理学、高能物理学)

在线出版日期：2006-11-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：5157-5160