Mn掺杂ZnO薄膜的结构及光学性能研究

摘要：

通过脉冲激光沉积(PLD)法在SiO2基片上制备了不同含量的Mn掺杂ZnO薄膜.X射线衍射、X射线能谱、原子力显微镜与紫外-可见分光光度计测试结果表明:少量的Mn离子的掺杂并没有改变薄膜的结构,薄膜具有(103)面的择优取向;PLD法制备的ZnO薄膜的成分与靶材基本一致,实现了薄膜的同组分沉积;薄膜表面比较平坦,起伏度小于80nm,颗粒尺寸主要集中在25nm附近;但是Mn离子的掺杂改变了ZnO薄膜的禁带宽度,随Mn掺杂含量的增加,ZnO薄膜的禁带宽度增加;当薄膜中Mn含量从6%增加到12%时,薄膜对紫外强吸收区的光吸收能力也随之增加.

关键词：PLD、ZnO薄膜、Mn掺杂、吸收谱

所属期刊栏目：55

分类号：O4(物理学)

资助基金：国家自然科学基金50331040,60171034

在线出版日期：2006-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：3132-3135