超薄类金刚石膜生长和结构特性的分子动力学模拟

摘要：

利用分子动力学模拟方法研究了2-3nm厚的类金刚石(DLC)薄膜在金刚石基体(100)表面上的生长过程.分析了用来表征沉积后无定型碳膜质量的重要结构特性,如sp3杂化比例、薄膜密度、径向分布函数等,计算结果和现有的实验结果基本一致.不同入射原子能量对结构特性进而对薄膜性能有重要影响,入射原子能量在20-60eV时,薄膜可以获得最优性能.载能原子入射是生长均匀、连续、致密固体薄膜的前提,稳定的中间区域对于保证薄膜优良的力学性质是必需的.

关键词：DLC膜、分子动力学模拟、sp3杂化比例

所属期刊栏目：55

分类号：O4(物理学)

资助基金：国家自然科学基金50390060;国家重点基础研究发展计划973计划2003CB716201

在线出版日期：2006-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：2922-2927