恒流应力下E2PROM隧道氧化层的退化特性研究

摘要：

在电容测量的基础上研究了薄隧道氧化层在恒定Fowler-Nordheim(F-N)隧穿电流下的退化情况.这种退化是恒流应力和时间的函数,对恒流应力大小的依赖性更加强烈,隧道氧化层在F-N电流下的退化是注入电荷密度(Qinj)的函数.在较低Qinj下氧化层中发生正电荷俘获,在较高Qinj下发生负电荷俘获,导致栅压变化的反复.

关键词：E2PROM、隧道氧化层、退化、恒流应力

所属期刊栏目：55

分类号：O4(物理学)

资助基金：国家科技攻关项目2004AA1Z1070;中国科学院资助项目60376024

在线出版日期：2006-05-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：2459-2463