10.3321/j.issn:1000-3290.2006.03.088
低能氩离子束对多孔铝阳极氧化膜表面的刻蚀效应研究
用低能氩离子束(Ar+)处理了多孔铝阳极氧化膜(AAO)表面.扫描电子显微镜和原子力显微镜结果表明,Ar+束刻蚀不仅可以有效地去除AAO反面阻挡层,还可使AAO表面产生多种特殊的形貌,如采用倾角入射可使其表面产生波纹,倾角入射同时旋转样品台,可实现表面抛光.并结合Bradley和Harper提出的无定形材料表面波纹的形成和演化理论解释了AAO表面波纹的特征.
多孔铝阳极氧化膜、离子束刻蚀
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O53(等离子体物理学)
中国科学院知识创新工程项目;中国科学院资助项目10375085;国家重点基础研究发展计划973计划2003CB716901;上海市纳米科技专项基金032nm050
2006-04-27(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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1517-1522