非均匀基底上三维薄膜生长的模拟研究

摘要：

考虑原子在基底表面的扩散、沿岛周界的扩散和不同层间的扩散以及非均匀基底上表面吸附能分布的各向异性,建立起非均匀基底表面上原子扩散和三维薄膜生长的动力学蒙特卡罗模型.模拟得到在不同生长条件下出现的层状生长、岛状生长和混合生长三种生长模式和相应的多层薄膜生长形貌图.通过统计三维薄膜中原子在各层的分布,计算薄膜的表面粗糙度,得到薄膜生长模式与生长条件之间的关系.

关键词：薄膜生长、非均匀基底、动力学蒙特卡罗模拟

所属期刊栏目：55

分类号：O4(物理学)

资助基金：浙江省自然科学基金RC02069

在线出版日期：2006-03-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：424-429