激光功率密度对类金刚石膜结构性能的影响

摘要：

采用大功率高重复频率准分子激光溅射热解石墨靶制备了类金刚石膜,研究了激光功率密度对膜的结构和性能的影响,分析了膜的紫外可见透过谱及膜的带隙结构、Raman谱和电子衍射图,结果表明随着激光功率密度由108W/cm2提高至1010W/cm2,膜的结构也由无定形非晶结构转变为纳米晶金刚石结构,膜中的sp3键舍量及各项性能均有提高.

关键词：激光功率密度、类金刚石膜、性能、结构

所属期刊栏目：54

分类号：O4(物理学)

在线出版日期：2005-09-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：4294-4299