硅烷低温等离子体阶跃响应的仿真(1)

摘要：

了解含有负离子的低温等离子体的过渡特性,在等离子体控制过程中,尤其在选择性等离子体腐蚀工艺和改善电荷堆积等现象中是十分重要的课题.对电源驱动频率为13.56MHz,压力为0.5Torr(0.5×103.33Pa)状态下的硅烷(SiH4)低温等离子体的阶跃响应进行仿真.当电源电压振幅从550V阶跃减小到350V时,硅烷低温等离子体表现出以数千RF周期为周期的振荡现象,等离子体中的带电粒子的运动变化决定了振荡现象的产生和振荡周期等特性.

关键词：迁移率、扩散系数、阶跃响应、等离子体振荡

所属期刊栏目：54

分类号：O4(物理学)

资助基金：教育部留学回国人员科研启动基金

在线出版日期：2005-09-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：3251-3256