用完全非共振光驻波聚焦原子制作纳米结构分析

摘要：

用完全非共振激光驻波场对热原子束实现纳米量级的聚焦,可以降低原子光刻试验的难度.用蒙特卡罗算法和轨迹模拟法分析原子源对原子聚焦的影响,结果表明靶的有效尺寸对纳米图形线宽的影响远大于原子束的发散角和原子的纵向速度分布.提出几种改进试验的方法.

关键词：完全非共振激光驻波场、原子聚焦、纳米结构制作

所属期刊栏目：54

分类号：O4(物理学)

资助基金：中国科学院知识创新工程项目A2K0009;中国科学院开放基金

在线出版日期：2005-09-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：2645-2652