考虑溅射损失的RF共振法离子引出和收集

摘要：

采用PIC-MCC方法研究了AVLIS工程中一维RF共振法离子引出和收集过程,重点研究离子在收集板上造成的溅射损失以及离子的收集效率.模拟结果表明,RF共振法与平行板静电场法相比,引出时间较短,碰撞损失和溅射损失较低,收集率较高;增加引出电压,可以缩短引出时间,降低碰撞损失,但是增加了溅射损失,使得收集率降低;增大磁场强度,使碰撞损失降低,溅射损失增加,收集率降低.

关键词：AVLIS、PIC-MCC、离子引出、溅射

所属期刊栏目：54

分类号：O4(物理学)

在线出版日期：2005-11-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：2147-2152