Si组分对SiGe量子点形状演化的影响

摘要：

研究了自组织生长SiGe岛(量子点)中Si组分对形状演化的影响.采用UHV/CVD方法生长了不同Si组分的SiGe岛,用AFM对其形状和尺寸分布进行了分析,实验结果表明SiGe岛从金字塔形向圆顶形转变的临界体积随Si组分的增大而增大.通过对量子点能量的应变能项进行修正,解释了量子点中Si组分对形状演化的影响.在特定的工艺条件下得到了单模尺寸分布的金字塔和圆顶形量子点.结果表明,通过调节SiGe岛中的Si组分,可以实现对SiGe岛形状和尺寸的控制.

关键词：自组织生长SiGe岛、Si组分、临界体积

所属期刊栏目：53

分类号：O4(物理学)

资助基金：国家自然科学基金69836020;面向21世纪教育振兴行动计划985计划JZ2001010;中国博士后科学基金

在线出版日期：2004-10-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：3136-3140