利用金属掩模法制备钉扎型磁性隧道结

摘要：

利用金属掩模法和Ir22Mn78合金反铁磁钉扎层,制备了四种钉扎型的Py/Al2O3/Py,Py/Al2O3/Co,Co/Al2O3/Py和Co/Al2O3/Co磁性隧道结,坡莫合金的成分为Py=Ni79Fe21.例如:利用狭缝宽度为100μm的金属掩模,直接制备出室温隧穿磁电阻比值为17.2%的磁性隧道结Co/Al2O3/Co,其结电阻为76 Ω,结电阻和结面积的积矢为76×104Ωμm2,自由层的偏转场为1114 A/m,并且在外加磁场0-1114 A·m-1之间时室温磁电阻比值从零跳跃增加到17.2%,磁场灵敏度达到0.1%/(103 A·m-1).钉扎型Co/Al2O3/Py的隧穿磁电阻实验曲线具有较好的方形度.结果表明,这种利用金属掩模法制备的钉扎型磁性隧道结亦可用于制备磁随机存储器等原型演示器件或其他种类原型磁敏传感器件.

关键词：磁性隧道结、隧穿磁电阻、磁随机存储器、金属掩模

所属期刊栏目：53

分类号：O4(物理学)

资助基金：天津市高等学校科技发展基金01-20216

在线出版日期：2004-09-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：2741-2745